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半导体行业——氢氟酸中毒危害及个人防护

 氢氟酸档案

  氢氟酸:Hydrofluoric Acid; CAS:7664-39-3

  分子式:HF 分子量:20.2;

  俗名:氟酸、白骨酸、化骨水、洗钻水、除锈剂、酸洗等;

  特征:具有刺激气味及剧毒性,属于中等强度偏弱的酸,与金属氧化物、氢氧化钠和碳酸盐反应生成金属氟盐,具有溶解硅和硅酸盐的性质,与三氧化硫或氯磺酸生成氟磺酸,与卤代芳烃、醇、烯、烃类反应生成含氟有机物,溶于水生成腐蚀性很强的酸;

  用途:氢氟酸主要用于半导体行业和玻璃蚀刻剂,因为硅的化学性质不活泼,常温下不与水、空气、酸反应,与强碱反应。

  注意事项:氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害,其暴露途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及肠胃道摄入,皮肤若接触到50%以上较高浓度的氢氟酸,会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应,1至2小时内产生水泡,6至24小时则会坏死及溃烂,若接触到10%以下较低浓度者,则往往于6小时或更长时间才发生疼痛等症状,因此常被当事人忽略而太晚处理,最后造成永久性伤害,一般常见受伤害的部位为手指。另外,如呼吸道、肠胃道等其它途径暴露,将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困难等症狀,或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔等症狀。氢氟酸对人体的伤害,除了酸性腐蚀伤害外,进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合,导致血钙过低、血镁过低和血钾过高,进而影响神经和心脏血管系统。

  使用氢氟酸时应避免与身体接触,包括皮肤、眼睛及呼吸道等,预防皮肤接触时需佩戴氟化聚乙烯(PVDF)、天然橡胶等材质之手套为佳,不要使用布质及棉质手套,并于易飞溅场合应做到全身防护,可使用连身式防护服、防化靴/工作靴,眼部应使用护目镜或全面式面罩。若不慎遭到氢氟酸腐蚀,应尽速采用大量的清水冲洗患部至少30分钟,直到身上看不到任何附着的固体或液体,并尽速送医,就医时应携带所接触的化学品,以提供医护人员及时进行正确诊疗。 氢氟酸分子小渗透力强,如不清洗彻底将产生蚀骨的永久性伤害,直至节肢;

  危害、防护和紧急处理

  健康危害: 对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白,坏死,继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时,可形成难以愈合的深溃疡,损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气,可发生支气管炎、肺炎等。

  慢性影响:眼和上呼吸道刺激症状,或有鼻衄,嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼X线异常与工业性氟病少见。

  燃爆危险:本品不燃,剧毒,具强腐蚀性、强刺激性,可致人体灼伤。

  皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。

  眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。

  吸入: 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。

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